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产品分类
产品简介
设备特点
晶圆尺寸: 兼容8寸、12寸frame晶圆
双loadport上料,双臂带翻转robot取料
双全自动取环工位
高效精确解UV光源
环切精度<0.15mm
设备尺寸:2060mm*2050mm*2300mm(不含三色灯)
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